GB/T 25915.10-2021
洁净室及相关受控环境 第10部分：按化学物浓度划分表面洁净度等级
Cleanrooms and associated controlled environments—Part 10: Classification of surface cleanliness by chemical concentration
GBT25915.10-2021, GB25915.10-2021
- 标准号
- GB/T 25915.10-2021
- 别名
- GBT25915.10-2021, GB25915.10-2021
- 发布
- 2021年
- 采用标准
- ISO 14644-10:2013 IDT
- 发布单位
- 国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会
- 当前最新
- GB/T 25915.10-2021
- 引用标准
- GB/T 25915.6
- 适用范围
- 本文件定义了洁净室中有关化合物或化学物质(包括分子、离子、原子、颗粒物)存在情况的表面洁净度分级系统。 本文件适用于洁净室及相关受控环境中所有表面,如墙面、顶棚、地面、工作环境、工具、设备和装置。 注1:本文件仅考虑微粒子的化学性质,未考虑微粒子的物理性质。 本文件不包括污染物与表面之间的相互作用。 注2:本文件不涉及污染产生的过程,不涉及与时间有关的影响因素(沉降、沉积、老化等)以及与过程有关的活动(如转移、处理等),也不涉及为确保符合性的统计质量控制技术指南。
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