洁净室的核心技术应包括:洁净室的设计与建造;洁净室的检测与监测;洁净室的运行与维护。这三部分有机的组合成一体,构成了完整的相互关联的洁净室技术,其架构与关联见下图:1、洁净室设计与建造包括:①设计规范、标准②工艺流程、平面布局③建筑构造与材料④冷、热源及动力⑤空调净化系统2、洁净室检测与监测包括:①洁净室调试与运行。②洁净室交竣检测。③洁净室综合性能评价。④确保洁净室处于洁净受控。⑤状态的检测。...
测试方法 2005 指定用于表征洁净室和洁净区性能的空气颗粒洁净度指定分类的测试方法 ISO14644-4 设计、建造和启动 2001 指定洁净室安装的设计和构造要求 ISO14644-5 运营 2004 指定洁净室运行的基本要求 ISO14644-7 分离装置(清洁空气罩、手套箱、隔离器和微环境) 2004 ...
级105600008790052800043951000,000级35200000293000176000014650ISO 14644-1:1999洁净室及相关受控环境/第1部分:空气洁净度等级洁净室及洁净区空气洁净度整数等级与传统分级对照表ISO等级N大于或等于关注粒径的粒子最大浓度限值(个/m3)FS 209E传统分级0.1mm0.2mm0.3mm0.5mm1.0mm5.0mmISO 1级102...
级105600008790052800043951000,000级35200000293000176000014650ISO 14644-1:1999洁净室及相关受控环境/第1部分:空气洁净度等级洁净室及洁净区空气洁净度整数等级与传统分级对照表ISO等级N大于或等于关注粒径的粒子最大浓度限值(个/m3)FS 209E传统分级0.1mm0.2mm0.3mm0.5mm1.0mm5.0mmISO 1级102...
Copyright ©2007-2022 ANTPEDIA, All Rights Reserved
京ICP备07018254号 京公网安备1101085018 电信与信息服务业务经营许可证:京ICP证110310号