BS ISO 16413:2020
通过 X 射线反射计评估薄膜的厚度、密度和界面宽度 仪器要求、对准和定位、数据收集、数据分析和报告
Evaluation of thickness, density and interface width of thin films by X-ray reflectometry. Instrumental requirements, alignment and positioning, data collection, data analysis and reporting
- 标准号
- BS ISO 16413:2020
- 发布
- 2020年
- 发布单位
- 英国标准学会
- 当前最新
- BS ISO 16413:2020
- 适用范围
- ISO 16413 是什么？ ISO 16413 是一项国际标准，讨论通过 X 射线反射计评估薄膜的厚度、密度和界面宽度。 ISO 16413 指定了一种使用 X 射线反射计 (XRR) 评估平面基板上厚度约为 1 nm 至 1 µm 的层和多层薄膜的厚度、密度和界面宽度的方法。 ISO 16413 使用单色准直光束扫描角度或散射矢量。注 1：ISO 16413 中未描述使用分布式检测器或扫描波长进行并行数据收集的会聚光束。注 2：未描述专有技术。
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