KS D ISO 16413-2021
用X射线反射计评估薄膜的厚度、密度和界面宽度.仪器要求、校准和定位、数据收集、数据分析和报告

Evaluation of thickness, density and interface width of thin films by X-ray reflectometry — Instrumental requirements, alignment and positioning, data collection, data analysis and reporting


 

 

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标准号
KS D ISO 16413-2021
发布
2021年
发布单位
KR-KS
当前最新
KS D ISO 16413-2021
 
 

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