GB/T 39516-2020
微纳米标准样板（几何量）
Micro nano standard samples（geometric）
GBT39516-2020, GB39516-2020
- 标准号
- GB/T 39516-2020
- 别名
- GBT39516-2020, GB39516-2020
- 发布
- 2020年
- 发布单位
- 国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会
- 当前最新
- GB/T 39516-2020
- 适用范围
- 本标准规定了微纳米标准样板(几何量)的术语和定义、型式与基本参数、要求、检查条件、检查方法、标志、运输及储存等。 本标准适用于线间隔为 0、05 pm一10 wm 的微纳米线间隔标准样板、台阶高度为 0、01 Am一100 pm的微纳米台阶高度标准样板、薄膜厚度为 2 nm一1 000 nm 的纳米膜厚标准样板和线宽为 25 nm~~1 000 nm的纳米线宽标准样板。