湿电子化学品谱睿技术检测方案以高纯氢氟酸检测为例,SEMI推荐赛默飞的谱睿二维方案,一维色谱中使用排斥柱将氟离子和其他常见阴离子预分离,通过调节保留时间窗口,将高浓度的氟离子排到废液中,其他阴离子被选择性浓缩富集,富集的阴离子部分在二维色谱中通过离子交换方式实现分离检测,实现对高纯氢氟酸中痕量阴离子杂质的检测。...
SJ/T 11554-2015用电感耦合等离子体发射光谱法测定氢氟酸中金属元素的含量本 标准规定了采用电感耦合等离子体发射光谱法(ICP-OES)测定氢氟酸中金属元素的试验方法。...
SEMI组织在2018年C3.39-1011中,对三氟化氮的纯度要求要达到 99.98% 以上,对氟离子的限量要求为小于0.1ppm,用的是氟离子选择性电极测定方法。该方法操作繁琐,影响因素多,且重复性不佳。在GB/T21287-2021电子特气三氟化氮中 气体纯度要求达到5N级,氟离子的限量要求为0.5ppm,已采用离子色谱法测定氟离子的含量,分析效率大大提高。 ...
氢氟酸中常见阴离子谱图浓磷酸的离子排斥色谱图(1. 强酸离子;2. 磷酸根)浓磷酸中常见阴离子谱图高纯试剂——浓硝酸中阴离子弱酸的方案我们得到了解决,那么无机强酸中的阴离子怎么去解决呢?...
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