DIN 50451-2:2003
半导体工艺材料测试.液体中痕量元素测定.第2部分:用等离子感应发射分光光度测定法测定氢氟酸中钴(Co)、铬(Cr)、铜(Ca)、铁(Fe)和镍(Ni)的含量
Testing of materials for semiconductor technology - Determination of trace elements in liquids - Part 2: Calcium (Ca), cobalt (Co), chromium (Cr), copper (Cu), Iron (Fe), nickel (Ni) and zinc (Zn) in hydrofluoric acid with plasma-induced emission spectros
- 标准号
- DIN 50451-2:2003
- 发布
- 2003年
- 发布单位
- 德国标准化学会
- 替代标准
- DIN 50451-2:2003-04
- 当前最新
- DIN 50451-2:2003-04
- 被代替标准
- DIN 50451-2:1990 DIN 50451-2:2002
- 适用范围
- 该文件规定了氢氟酸中与半导体技术相关的钴（Co）、铬（Cr）、铜（Cu）、铁（Fe）和镍（Ni）金属痕量的测试方法。使用等离子体激发的发射光谱（例如，电感耦合等离子体（ICP）或直流等离子体（DCP））进行测定。应用范围涵盖微量元素质量分数从1 ng/g到1000 ng/g。#,,#
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