T/ICMTIA 5.1-2020
集成电路用 ArF 干式光刻胶

ArF Dry photo resist for Integrated circuits


标准号
T/ICMTIA 5.1-2020
发布
2020年
发布单位
中国团体标准
当前最新
T/ICMTIA 5.1-2020
 
 
适用范围
本文件规定了 ArF 干式光刻胶的要求、试验方法、检测标准及包装、运输、存储要求。

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