T/ICMTIA 5.2-2020
集成电路用ArF浸没式光刻胶

ArF immersion photo resist for integrated circuits

标准号: T/ICMTIA 5.2-2020
发布: 2020年
发布单位: 中国团体标准
当前最新: T/ICMTIA 5.2-2020

适用范围: 本文件规定了ArF浸没式光刻胶的要求、试验方法、检测标准及包装、运输、存储。

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