ASTM E1634-11(2019)
溅射坑深度测量的标准指南

Standard Guide for Performing Sputter Crater Depth Measurements


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ASTM E1634-11(2019)

标准号
ASTM E1634-11(2019)
发布
2019年
发布单位
美国材料与试验协会
当前最新
ASTM E1634-11(2019)
 
 
引用标准
ASTM E673
1.1 本指南涵盖了溅射坑深度测量的采集和后处理的首选程序。本指南仅限于配备载物台、触针、相关扫描和传感电子设备、用于样品和扫描对准的视频系统以及计算机化系统的触针式表面轮廓仪。 1.2 以 SI 单位表示的值应被视为标准值。本标准不包含其他计量单位。 1.3 本标准并不旨在解决与其使用相关的所有安全问题(如果有)。本标准的使用者有责任建立适当的安全、健康和...

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