ASTM E1634-11(2019)
溅射坑深度测量的标准指南

Standard Guide for Performing Sputter Crater Depth Measurements

标准号

ASTM E1634-11(2019)

发布

2019年

发布单位

美国材料与试验协会

当前最新

ASTM E1634-11(2019)

 

 

引用标准

ASTM E673

适用范围

1.1 本指南涵盖了溅射坑深度测量的采集和后处理的首选程序。本指南仅限于配备载物台、触针、相关扫描和传感电子设备、用于样品和扫描对准的视频系统以及计算机化系统的触针式表面轮廓仪。
1.2 以 SI 单位表示的值应被视为标准值。本标准不包含其他计量单位。
1.3 本标准并不旨在解决与其使用相关的所有安全问题（如果有）。本标准的使用者有责任建立适当的安全、健康和环境实践，并在使用前确定监管限制的适用性。
1.4 本国际标准是根据世界贸易组织贸易技术壁垒（TBT）委员会发布的《关于制定国际标准、指南和建议的原则的决定》中确立的国际公认的标准化原则制定的。

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