T/CATSI 09010-2021
光学真空腔体洁净度检测规范
Specifications for testing the cleanliness of optical vacuum chambers
T/CATSI 09010-2021 中，可能用到以下仪器设备
- 标准号
- T/CATSI 09010-2021
- 发布
- 2021年
- 发布单位
- 中国团体标准
- 当前最新
- T/CATSI 09010-2021
- 第 3章 术语、定义和缩略语 为便于对标准的理解与执行，本章给出了光学真空腔体洁净度分压术语和定义和部分缩略语。 第4章 真空腔体污染物 本章主要给出了光学真空腔体污染物的类型，包括油脂、液滴、表面氧化物等。 第5章 洁净度标准 本章给出洁净级标准、超净级标准和危险级3种洁净度等级标准的要求。 第6章 检测...
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