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传统的制备TEM样品的方法是机械切片研磨,用这种方法只能分析大面积样品。采用聚焦离子束则可以对样品的某一局部切片进行观察。与切割横截面的方法一样,制作TEM样品是利用聚焦离子束从前后两个方向加工,最后在中间留下一个薄的区域作为TEM观察的样品。下图所示为TEM制样的工艺过程。...
,以离子束的能量分解有机金属蒸汽或气相绝缘材料,在局部区域作导体或非导体的沉积,可供金属和氧化层的沉积高分辨扫描电镜,SEM的高分辨图像保证高精密的终点探测,利用即时的FIB图像实现Section-View的功能可以显示截面的轮廓图制备透射电镜(TEM)样品配备EDX可进行样品元素组分半定量测量应用案例:案例一,精细切割及材料蒸镀:图1为利用聚焦离子束系统在素玻璃上分别进行镓离子精细切割及钨离子镀膜的图形...
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