ISO 13084:2018
表面化学分析 - 二次离子质谱法 - 用于飞行时间二次离子质谱仪的质谱的校准
Surface chemical analysis — Secondary ion mass spectrometry — Calibration of the mass scale for a time-of-flight secondary ion mass spectrometer
- 标准号
- ISO 13084:2018
- 发布
- 2018年
- 中文版
- GB/T 40129-2021 (等同采用的中文版本)
- 发布单位
- 国际标准化组织
- 当前最新
- ISO 13084:2018
- 适用范围
- 本文件规定了一种优化用于一般分析目的的飞行时间二次离子质谱 (SIMS) 仪器质量校准精度的方法。 它仅适用于飞行时间仪器，但不限于任何特定的仪器设计。 为可以使用此程序优化的一些仪器参数以及适合校准质量标度以获得最佳质量精度的通用峰类型提供了指导。
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