ISO 13084:2018
表面化学分析 - 二次离子质谱法 - 用于飞行时间二次离子质谱仪的质谱的校准
Surface chemical analysis — Secondary ion mass spectrometry — Calibration of the mass scale for a time-of-flight secondary ion mass spectrometer
ISO 13084:2018 发布历史
ISO 13084:2018由国际标准化组织 IX-ISO 发布于 2018-11-15。
ISO 13084:2018在国际标准分类中归属于: 71.040.40 化学分析。
本标准有等同采用的 中文版 GB/T 40129-2021 表面化学分析 二次离子质谱 飞行时间二次离子质谱仪质量标校准
ISO 13084:2018的历代版本如下：
- 2018年 ISO 13084:2018 表面化学分析 - 二次离子质谱法 - 用于飞行时间二次离子质谱仪的质谱的校准
- 2011年 ISO 13084:2011 表面化学分析.二次离子质谱分析法.飞行时间二次离子质谱仪用质量标度的校准
本文件规定了一种优化用于一般分析目的的飞行时间二次离子质谱 (SIMS) 仪器质量校准精度的方法。 它仅适用于飞行时间仪器，但不限于任何特定的仪器设计。 为可以使用此程序优化的一些仪器参数以及适合校准质量标度以获得最佳质量精度的通用峰类型提供了指导。
