ISO 13424:2013
表面化学分析——X射线光电子能谱;薄膜分析结果的报告

Surface chemical analysis — X-ray photoelectron spectroscopy — Reporting of results of thin-film analysis


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ISO 13424:2013

标准号
ISO 13424:2013
发布
2013年
发布单位
国际标准化组织
当前最新
ISO 13424:2013
 
 
引用标准
ISO 18115-1:2010
本国际标准规定了通过 XPS 对基材上的薄膜进行分析的报告中所需的最小信息量。 这些分析涉及均质薄膜的化学成分和厚度的测量,以及通过角度分辨 XPS、XPS 溅射深度分析、峰形分析和可变光子测量作为非均质薄膜深度的函数的化学成分能量XPS。

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