DIN 50452-1:1995
半导体工艺用材料的检验.液体中粒子分析的试验方法.第1部分:粒子的显微镜测定
Testing of materials for semiconductor technology - Test method for particle analysis in liquids - Part 1: Microscopic determination of particles
- 标准号
- DIN 50452-1:1995
- 发布
- 1995年
- 发布单位
- 德国标准化学会
- 替代标准
- DIN 50452-1:1995-11
- 当前最新
- DIN 50452-1:1995-11
- 被代替标准
- DIN 50452-1:1988
- 适用范围
- 该方法包括通过显微计数测定膜过滤器上分离的液体中颗粒物污染的浓度。范围仅限于5μ及以上的施胶颗粒。