GB/T 15909-1995
电子工业用气体 硅烷(SiH4)已作废

Gas for electronic industry--Silane

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标准号

GB/T 15909-1995

发布日期

1995年12月20日

实施日期

1996年08月01日

废止日期

2010-05-01

中国标准分类号

G86

国际标准分类号

71.100.20

发布单位

CN-GB

代替标准

GB/T 15909-2009

适用范围

本标准规定了电子工业用硅烷气体的技术要求、检验方法、检验规则、包装、标志、运输、贮存和安全要求等。 本标准主要用于电子工业中多晶硅和单晶硅外延淀积、二氧化硅的低温化学汽相淀积、非晶硅薄膜淀积等。 分子式：SiH4 相对分子质量：32.117（按1991年国际相对原子质量）。 101.3kPa下的沸点：-112℃ 20℃和101.3kPa下气体密度：1.342kg/m³。 -185℃下液体密度：711kg/m³。

GB/T 15909-1995系列标准