GB/T 17169-1997
硅抛光片和外延片表面质量光反射测试方法

Test method for the surface quality of polished silicon wafers and epitaxial wafers by optical-reflection

GBT17169-1997, GB17169-1997

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标准号

GB/T 17169-1997

别名

GBT17169-1997, GB17169-1997

发布

1997年

发布单位

国家质检总局

当前最新

GB/T 17169-1997

 

 

适用范围

本标准规定了半导体硅抛光片和外延片表面常见缺陷的光反射无损检验方法。 本标准适用于半导体硅抛光片和外延片表面质量的无损检验。 本标准的检验结果与GB/T6624、GB/T14142的检验结果一致。

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