BS CECC 00013-1985
电子元器件质量评定协调体系.基本规范:半导体小片的扫描电子显微镜检验

Harmonized system of quality assessment for electronic components: basic specification: scanning electron microscope inspection of semiconductor dice

说明：

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标准号
BS CECC 00013-1985
发布日期
1985年08月30日
实施日期
1985年08月30日
废止日期
无
中国标准分类号
L10;L40
国际标准分类号
31.080.01;31.200
发布单位
GB-BSI
适用范围
Describes equipment and procedures to be used for SEM inspection of discrete semiconductor devices and integrated circuits.

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