BS CECC 00013-1985
电子元器件质量评定协调体系.基本规范:半导体小片的扫描电子显微镜检验

Harmonized system of quality assessment for electronic components: basic specification: scanning electron microscope inspection of semiconductor dice

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标准号

BS CECC 00013-1985

发布日期

1985年08月30日

实施日期

1985年08月30日

废止日期

无

中国标准分类号

L10;L40

国际标准分类号

31.080.01;31.200

发布单位

GB-BSI

适用范围

Describes equipment and procedures to be used for SEM inspection of discrete semiconductor devices and integrated circuits.

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