Describes equipment and procedures to be used for SEM inspection of discrete semiconductor devices and integrated circuits.
BS CECC 00013-1985由英国标准学会 GB-BSI 发布于 1985-08-30,并于 1985-08-30 实施。
BS CECC 00013-1985 在中国标准分类中归属于: L10 电子元件综合,L40 半导体分立器件综合,在国际标准分类中归属于: 31.080.01 半导体器分立件综合,31.200 集成电路、微电子学。
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