GB/T 5252-2006
锗单晶位错腐蚀坑密度测量方法

Germanium monocrystal.Inspection of dislocation etch pit density

GBT5252-2006, GB5252-2006

2021-05

GB/T 5252-2006


标准号
GB/T 5252-2006
别名
GBT5252-2006
GB5252-2006
发布
2006年
发布单位
国家质检总局
替代标准
GB/T 5252-2020
当前最新
GB/T 5252-2020
 
 
被代替标准
GB/T 5252-1985
本标准适用于位错密度0cm-2~100000cm-2的n型和p型锗单晶棒或片的位错密度或其他缺陷的测量。观察面为(111)、(100)和(113)面。

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