GB/T 5252-2006
锗单晶位错腐蚀坑密度测量方法
Germanium monocrystal.Inspection of dislocation etch pit density
- 标准号
- GB/T 5252-2006
- 发布日期
- 2006年07月18日
- 实施日期
- 2006年11月01日
- 废止日期
- 无
- 中国标准分类号
- H17
- 国际标准分类号
- 77.040.01
- 发布单位
- CN-GB
- 被代替标准
- GB/T 5252-1985
- 适用范围
- 本标准适用于位错密度0cm-2～100000cm-2的n型和p型锗单晶棒或片的位错密度或其他缺陷的测量。观察面为（111）、（100）和（113）面。