ISO 15632:2002
微光束分析.带半导体探测器的能量发散X射线分光仪的仪器规范
Microbeam analysis - Instrumental specification for energy dispersive X-ray spectrometers with semiconductor detectors
ISO 15632:2002 中，可能用到以下仪器设备
- 标准号
- ISO 15632:2002
- 发布
- 2002年
- 中文版
- GB/T 20726-2006 (等同采用的中文版本)
- 发布单位
- 国际标准化组织
- 替代标准
- ISO 15632:2012
- 当前最新
- ISO 15632:2021
- 本标准规定了表征以半导体探测器、前置放大器利信号处理系统为基本构成的X射线能谱仪 （EDS）特性最重要的量值。本标准仅适用于固态电离作原理的半导体探测器EDS。 本标准准只规定了与电子探针（EPMA)或扫描电镜（SEM）此类EDS的的最低要求，至于如何实现分析则不在本标准的规定范围之内。
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