DIN 50451-2:2003
半导体工艺材料测试.液体中痕量元素测定.第2部分:用等离子感应发射分光光度测定法测定氢氟酸中钴(Co)、铬(Cr)、铜(Ca)、铁(Fe)和镍(Ni)的含量
Testing of materials for semiconductor technology - Determination of trace elements in liquids - Part 2: Calcium (Ca), cobalt (Co), chromium (Cr), copper (Cu), Iron (Fe), nickel (Ni) and zinc (Zn) in hydrofluoric acid with plasma-induced emission spectros
- 标准号
- DIN 50451-2:2003
- 发布
- 2003年
- 发布单位
- 德国标准化学会
- 当前最新
- DIN 50451-2:2003
- 被代替标准
- DIN 50451-2:1990 DIN 50451-2:2002
- 适用范围
- The document specifies a method for testing hydrofluoric acid for the metal traces of cobalt (Co), chromium (Cr), copper (Cu), iron (Fe), and nickel (Ni) relevant to semiconductor technology. Emission spectroscopy with plasma excitation (for example, inductively coupled plasma (ICP) or direct current plasma (DCP)) is used for the determination. The range of application covers trace element mass fractions from 1 ng/g to 1000 ng/g.#,,#
DIN 50451-2:2003相似标准
推荐
ICP-6800S电感耦合等离子体发射光谱仪测定原油中金属元素的应用方案
随着原子发射光谱技术的发展和成熟,电感耦合等离子体原子发射光谱(ICP-AES)法因具有多元素同时测定﹑线性范围宽﹑灵敏度高、基体效应小、精密度高﹑快速准确等特点在原油元素分析中得到广泛应用。采用ICP-AES法测定,建立管输原油中钡、钙﹑镉、钴﹑铬、铜、铁﹑钾、镁﹑钠﹑镍﹑铅﹑钒﹑锰14种金属元素含量的快速测定方法。...
ICP-AES法等9项分析测试标准征求意见
本标准适用于电子工业用氢氟酸中痕量金属元素钠(Na)、 镁(Mg)、铝(Al)、钾(K)、钙(Ca)、钛(Ti)、钒(V)、铬(Cr)、锰(Mn)、铁(Fe)、钴(Co)、镍(Ni)、铜(Cu)、锌 (Zn)、砷(As)、锶(Sr)、银(Ag)、镉(Cd)、锡(Sn)、锑(Sb)、钡(Ba)、铅(Pb)的测定。...