DIN 28429:2003
真空技术.溅射离子泵验收规范
Vacuum technology - Acceptance specifications for getter ion pumps
- 标准号
- DIN 28429:2003
- 发布
- 2003年
- 发布单位
- 德国标准化学会
- 替代标准
- DIN 28429:2014
- DIN 28429 E:2013-04
- 当前最新
- DIN 28429:2014-05
- 适用范围
- 本标准的文件目的是确保离子吸气泵的特性评估在统一的程序和条件下进行。应该实现的是，不同制造商和实验室所做的测量以及目录中给出的信息原则上具有可比性。#,,#
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