如果钛升华泵对氢有很高的抽速,但是不能进行抽氦,而三极型溅射离子泵,(或二极型非对称阴极溅射离子泵)对氩有一定的抽速两组合起来,则会使真空装置得到相应的真空度。 5、真空设备对油污染的要求。若设备明确要求无油时,应该选用各种无油泵,如:水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等,如果要求不严格,可以选择有油泵,加上一些防油污染的措施。 6、正确地选择真空泵的工作点。...
3、吸气剂离子泵它是使被电离的气体通过电磁场或电场的作用吸附在有吸气材料的表面上,以达到抽气的目的。它有如下几种型式。(1)蒸发离子泵:泵内被电离的气体吸附在以间断或连续方式升华(或蒸发)而覆在泵内壁的吸气材料上,以实现抽气的一种真空泵。(2)溅射离子泵:泵内被电离的气体吸附在由阴极连续溅射散出来的吸气材料上,以实现抽气目的的一种真空泵。4、低温泵利用低温表面捕集气体的真空泵 ...
吸附泵通过大面积的吸附剂覆盖吸附的方式获取真空,是一种捕集真空装置;吸气剂泵则是利用吸气剂(一般是块状或者沉积式新鲜薄膜形式存在)捕获气体,进行抽真空;吸气剂离子泵将气体电离,再通过电场、磁场的作用达到吸附在材料表面的目的,从而实现抽气,又分为两种,一种是蒸发离子泵,被电离的气体持续或者以间断的升华从而被吸附,另外一种是溅射离子泵,被电离的离子,被吸附在由阴极持续溅射出来的吸气材料上,实现吸气。 ...
如钛升华泵对氢有很高的抽速,但不能抽氦,而三极型溅射离子泵,(或二极型非对称阴极溅射离子泵)对氩有一定的抽速,两者组合起来,便会使真空装置得到较好的真空度。另外,有的不能在大气压下工作,需要预真空;有的出口压强低于大气压,需要前级泵,故都需要把泵组合起来使用。 ⑸真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时,应该选各种无油泵,如:水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。...
Copyright ©2007-2022 ANTPEDIA, All Rights Reserved
京ICP备07018254号 京公网安备1101085018 电信与信息服务业务经营许可证:京ICP证110310号