GB/T 24469-2009
电子工业用气体.5N氯化氢
Gas for electronic industry.5N hydrogen chloride
GBT24469-2009, GB24469-2009
2015-07
GB/T 24469-2009 中，可能用到以下仪器设备
- 标准号
- GB/T 24469-2009
- 别名
- GBT24469-2009
GB24469-2009 - 发布
- 2009年
- 发布单位
- 国家质检总局
- 替代标准
- GB/T 14602-2014
- 当前最新
- GB/T 14602-2014
- 引用标准
- GB 13004 GB 14193 GB 15258 GB 15382 GB 17265 GB 190 GB 5099 GB 7144 GB/T 16942 GB/T 16943 GB/T 16944 GB/T 5832.2 GB/T 6681 危险货物运输规则 定量包装商品计量监督管理办法 气瓶安全监察规定 气瓶安全监察规程
- 本标准规定了电子工业用气体5N氯化氢的技术要求、检验方法、检验规则以及包装、标志、运输、储存、充装、分装和安全要求。 本标准适用于以工业氯化氢为原料经净化制得的瓶装液化氯化氢。 氯化氢主要用于微电子工业半导体器件生产中单晶硅片气相抛光、外延和基座腐蚀工艺。也可用于硬质合金和玻璃表面处理、医药中间体和精细化学品制造、科学研究等领域。 分子式:HCl 相...
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