GB/T 24469-2009
电子工业用气体.5N氯化氢
Gas for electronic industry.5N hydrogen chloride
说明：
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- 标准号
- GB/T 24469-2009
- 发布日期
- 2009年10月15日
- 实施日期
- 2009年12月01日
- 废止日期
- 2015-07-01
- 中国标准分类号
- G86
- 国际标准分类号
- 71.100.20
- 发布单位
- CN-GB
- 引用标准
- GB 190 GB 5099 GB/T 5832.2 GB/T 6681 GB 7144 GB 13004 GB 14193 GB 15258 GB 15382 GB/T 16942 GB/T 16943 GB/T 16944 GB 17265 定量包装商品计量监督管理办法 气瓶安全监察规程 气瓶安全监察规定 危险货物运输规则
- 代替标准
- GB/T 14602-2014
- 适用范围
- 本标准规定了电子工业用气体5N氯化氢的技术要求、检验方法、检验规则以及包装、标志、运输、储存、充装、分装和安全要求。 本标准适用于以工业氯化氢为原料经净化制得的瓶装液化氯化氢。 氯化氢主要用于微电子工业半导体器件生产中单晶硅片气相抛光、外延和基座腐蚀工艺。也可用于硬质合金和玻璃表面处理、医药中间体和精细化学品制造、科学研究等领域。 分子式:HCl 相对分子质量:36.46l(按2005年国际相对原子质量)