GB/T 24574-2009
硅单晶中Ⅲ-Ⅴ族杂质的光致发光测试方法
Test methods for photolumininescence analysis of single crystal silicon for Ⅲ-Ⅴ impurities
- 标准号
- GB/T 24574-2009
- 发布日期
- 2009年10月30日
- 实施日期
- 2010年06月01日
- 废止日期
- 无
- 中国标准分类号
- H80
- 国际标准分类号
- 29.045
- 发布单位
- CN-GB
- 引用标准
- GB/T 13389 GB/T 24581
- 适用范围
- 本标准规定了硅单晶中Ⅲ-Ⅴ族杂质的光致发光测试方法。
本标准适用于低位错单晶硅中导电性杂质硼和磷含量的同时测定。
本标准用于检测单晶硅中含量为1×lO
at•cm ～5×10 at•cm 的各种电活性杂质元素。