GB/T 24574-2009
硅单晶中Ⅲ-Ⅴ族杂质的光致发光测试方法

Test methods for photolumininescence analysis of single crystal silicon for Ⅲ-Ⅴ impurities

GBT24574-2009, GB24574-2009


GB/T 24574-2009 发布历史

GB/T 24574-2009由国家质检总局 CN-GB 发布于 2009-10-30,并于 2010-06-01 实施。

GB/T 24574-2009 在中国标准分类中归属于: H80 半金属与半导体材料综合,在国际标准分类中归属于: 29.045 半导体材料。

GB/T 24574-2009 硅单晶中Ⅲ-Ⅴ族杂质的光致发光测试方法的最新版本是哪一版?

最新版本是 GB/T 24574-2009

GB/T 24574-2009 采用标准及采用方式

  • MOD SEMI MF 1389-0704

GB/T 24574-2009 发布之时,引用了标准

  • GB/T 13389 掺硼掺磷掺砷硅单晶电阻率与掺杂剂浓度换算规程*2014-12-31 更新
  • GB/T 24581 硅单晶中III、V族杂质含量的测定 低温傅立叶变换红外光谱法*2022-03-09 更新

* 在 GB/T 24574-2009 发布之后有更新,请注意新发布标准的变化。

GB/T 24574-2009的历代版本如下:

  • 2009年 GB/T 24574-2009 硅单晶中Ⅲ-Ⅴ族杂质的光致发光测试方法

 

本标准规定了硅单晶中Ⅲ-Ⅴ族杂质的光致发光测试方法。 本标准适用于低位错单晶硅中导电性杂质硼和磷含量的同时测定。 本标准用于检测单晶硅中含量为1×lO at•cm ~5×10 at•cm 的各种电活性杂质元素。

GB/T 24574-2009

标准号
GB/T 24574-2009
别名
GBT24574-2009
GB24574-2009
发布
2009年
采用标准
SEMI MF 1389-0704 MOD
发布单位
国家质检总局
当前最新
GB/T 24574-2009
 
 
引用标准
GB/T 13389 GB/T 24581

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