GB/T 13387-2009
硅及其他电子材料晶片参考面长度测量方法
Test method for measuring flat length wafers of silicon and other electronic materials
GBT13387-2009, GB13387-2009
说明：
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- 标准号
- GB/T 13387-2009
- 别名
- GBT13387-2009
GB13387-2009 - 发布
- 2009年
- 采用标准
- SEMI MF 671-0705 MOD
- 发布单位
- 国家质检总局
- 当前最新
- GB/T 13387-2009
- 引用标准
- GB/T 14264-2009 GB/T 2828.1-2003
- 被代替标准
- GB/T 13387-1992
- 本标准涵盖了对晶片边缘平直部分长度的确认方法。 本标准适用于标称圆形晶片边缘平直部分长度小于等于65mm的电学材料。本标准仅对硅片精度进行确认，预期精度不因材料而改变。 本标准适用于仲裁测量，当规定的限度要求高于用尺子和肉眼检测能够获得的精度时，本标准也可用于常规验收测量。 本标准不涉及安全问题，即使有也与标准的使用相联系。建立合适的安全和保障措施及确...
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