GB/T 16942-2009
电子工业用气体.氢
Gas for electronic industry.Hydrogen
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- 标准号
- GB/T 16942-2009
- 发布日期
- 2009年10月30日
- 实施日期
- 2010年05月01日
- 废止日期
- 无
- 中国标准分类号
- G86
- 国际标准分类号
- 71.100.20
- 发布单位
- CN-GB
- 引用标准
- GB 190-2009 GB/T 3634.1-2006 GB/T 3723-1999 GB 4962-2008 GB 5099-1994 GB/T 6285-2003 GB 7144-1999 GB/T 8984-2008 GB 14194-2006 气瓶安全监察规程 压力容器安全技术监察规程 压力管道安全管理与监察规定
- 被代替标准
- GB/T 16942-1997
- 适用范围
- 本标准规定了电子工业用氢技术要求、试验方法及包装、标志、贮运及安全。 本标准适用于以氢气为原料经净化制取的瓶装、集装格装和管道输送的电子工业用氢气。它们主要被用来提供还原气氛，作为外延工艺的载气以及等离子体蚀刻剂的配气原料。
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