GB/T 16942-2009 电子工业用气体.氢发布历史

本标准规定了电子工业用氢技术要求、试验方法及包装、标志、贮运及安全。本标准适用于以氢气为原料经净化制取的瓶装、集装格装和管道输送的电子工业用氢气。它们主要被用来提供还原气氛，作为外延工艺的载气以及等离子体蚀刻剂的配气原料。

GB/T 16942-2009由国家质检总局 CN-GB 发布于 2009-10-30，并于 2010-05-01 实施。

GB/T 16942-2009 在中国标准分类中归属于: G86 工业气体与化学气体，在国际标准分类中归属于: 71.100.20 工业气体。

GB/T 16942-2009 电子工业用气体.氢由 GB/T 16942-1997 变更而来。

标准号: GB/T 16942-2009
发布日期: 2009年10月30日
实施日期: 2010年05月01日
废止日期: 无
中国标准分类号: G86
国际标准分类号: 71.100.20
发布单位: CN-GB
引用标准: GB 190-2009 GB/T 3634.1-2006 GB/T 3723-1999 GB 4962-2008 GB 5099-1994 GB/T 6285-2003 GB 7144-1999 GB/T 8984-2008 GB 14194-2006 气瓶安全监察规程压力容器安全技术监察规程压力管道安全管理与监察规定
被代替标准: GB/T 16942-1997

适用范围: 本标准规定了电子工业用氢技术要求、试验方法及包装、标志、贮运及安全。本标准适用于以氢气为原料经净化制取的瓶装、集装格装和管道输送的电子工业用氢气。它们主要被用来提供还原气氛，作为外延工艺的载气以及等离子体蚀刻剂的配气原料。

GB/T 16942-2009
电子工业用气体.氢