ASTM F1513-99(2011)
用于电子薄膜的纯铝(非合金)材料标准规范
Standard Specification for Pure Aluminum (Unalloyed) Source Material for Electronic Thin Film Applications
ASTM F1513-99(2011) 发布历史
ASTM F1513-99(2011)由美国材料与试验协会 US-ASTM 发布于 1999。
ASTM F1513-99(2011) 在中国标准分类中归属于: L90 电子技术专用材料。
ASTM F1513-99(2011) 发布之时，引用了标准
- ASTM D1971 用火焰原子吸收法、石墨炉原子吸收法、等离子体发射光谱法或等离子体质谱法测定金属的水样消解的标准实施规程*， 2002-03-10 更新
* 在 ASTM F1513-99(2011) 发布之后有更新，请注意新发布标准的变化。
ASTM F1513-99(2011)的历代版本如下：
- 1999年 ASTM F1513-99(2011) 用于电子薄膜的纯铝(非合金)材料标准规范
- 1999年 ASTM F1513-99(2003) 电子薄膜器件用纯铝(非合金)原材料标准规范
- 1999年 ASTM F1513-99 电子薄膜器件用纯铝(非合金)原材料标准规范
1.1 本规范涵盖用于蒸发源和溅射靶材的纯铝金属（非合金）。该材料旨在作为电子应用的原材料。在某些情况下，该材料按原样使用（例如，作为电子束蒸发源）。在其他情况下，买方可以将其重熔、合金化、铸造和加工以制成成品（例如溅射靶材）。
1.2 本规范规定了纯度等级、物理属性、分析方法和包装。
1.3 以 SI 单位表示的值应被视为标准值。本标准不包含其他计量单位。
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