ASTM F1513-99(2011)
用于电子薄膜的纯铝(非合金)材料标准规范
Standard Specification for Pure Aluminum (Unalloyed) Source Material for Electronic Thin Film Applications
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- 标准号
- ASTM F1513-99(2011)
- 发布
- 1999年
- 发布单位
- 美国材料与试验协会
- 当前最新
- ASTM F1513-99(2011)
- 引用标准
- ASTM D1971
- 1.1 本规范涵盖用于蒸发源和溅射靶材的纯铝金属（非合金）。该材料旨在作为电子应用的原材料。在某些情况下，该材料按原样使用（例如，作为电子束蒸发源）。在其他情况下，买方可以将其重熔、合金化、铸造和加工以制成成品（例如溅射靶材）。 1.2 本规范规定了纯度等级、物理属性、分析方法和包装。 1.3 以 SI 单位表示的值应被视为标准值。本标准不包含其他计量单位。...
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