ASTM F1513-99(2011)
用于电子薄膜的纯铝(非合金)材料标准规范

Standard Specification for Pure Aluminum (Unalloyed) Source Material for Electronic Thin Film Applications

标准号

ASTM F1513-99(2011)

发布

1999年

发布单位

美国材料与试验协会

当前最新

ASTM F1513-99(2011)

 

 

引用标准

ASTM D1971

适用范围

1.1 本规范涵盖用于蒸发源和溅射靶材的纯铝金属（非合金）。该材料旨在作为电子应用的原材料。在某些情况下，该材料按原样使用（例如，作为电子束蒸发源）。在其他情况下，买方可以将其重熔、合金化、铸造和加工以制成成品（例如溅射靶材）。
1.2 本规范规定了纯度等级、物理属性、分析方法和包装。
1.3 以 SI 单位表示的值应被视为标准值。本标准不包含其他计量单位。

ASTM F1513-99(2011)相似标准

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