ASTM E493/E493M-11
在里外试验法中用质谱仪检漏器作泄漏检验的标准操作规程

Standard Practice for Leaks Using the Mass Spectrometer Leak Detector in the Inside-Out Testing Mode


 

 

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标准号
ASTM E493/E493M-11
发布
2011年
发布单位
美国材料与试验协会
替代标准
ASTM E493/E493M-11(2017)
当前最新
ASTM E493/E493M-11(2022)
 
 
方法 A 或 B 可用于测试具有内部容积的气密密封设备。微电子设备已确定了最大可接受泄漏率,以确保在预计使用寿命内性能特征不会受到空气、水蒸气或其他污染物泄漏的影响。必须注意控制爆炸压力、爆炸时间和爆炸后的停留时间,否则结果可能会有很大差异。 1.1 本实践涵盖了在测试前密封的设备的测试程序,例如半导体、密封继电器、烟火设备、等,以防止通过外壳壁的泄漏。它们...

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