ASTM E493/E493M-11
在里外试验法中用质谱仪检漏器作泄漏检验的标准操作规程

Standard Practice for Leaks Using the Mass Spectrometer Leak Detector in the Inside-Out Testing Mode

被代替

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标准号

ASTM E493/E493M-11

发布

2011年

发布单位

美国材料与试验协会

替代标准

ASTM E493/E493M-11(2017)

当前最新

ASTM E493/E493M-11(2022)

 

 

适用范围

方法 A 或 B 可用于测试具有内部容积的气密密封设备。微电子设备已确定了最大可接受泄漏率，以确保在预计使用寿命内性能特征不会受到空气、水蒸气或其他污染物泄漏的影响。必须注意控制爆炸压力、爆炸时间和爆炸后的停留时间，否则结果可能会有很大差异。
1.1 本实践涵盖了在测试前密封的设备的测试程序，例如半导体、密封继电器、烟火设备、等，以防止通过外壳壁的泄漏。它们可以以不同程度的灵敏度使用（取决于内部体积、外壳的强度、可用于准备测试的时间以及外壳材料对氦气的吸附特性）。在一般实践中，灵敏度限值为 10−10 至 10−6 Pa m3/s（0°C 时 10−9 标准 cm3/s 至 10−5 标准 cm3/s）对于氦气，尽管在某些情况下，这些限制可能会在任一方向上超出数十年。
1.2 描述了两种测试方法：
1.2.1 测试方法 A8212；通过轰炸制备测试部件。
1.2.2 测试方法 B8212；通过预填充制备测试部件。
1.3 单位8212；以 SI 或 std-cc/sec 单位表示的值应单独视为标准。每个系统中规定的值可能并不完全相同：因此，每个系统应独立使用。组合两个系统的值可能会导致不符合标准。
1.4 本标准并不旨在解决与其使用相关的所有安全问题（如果有）。本标准的使用者有责任在使用前建立适当的安全和健康实践并确定监管限制的适用性。

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