氦质谱检漏仪是质谱仪器中的一种,将质谱仪用于检漏技术是质谱仪在真空密封检测技术中的重要应用。 检漏的基本任务靠采取一些标准检漏技术来完成,而采用哪种技术要根据被检件的结构、检漏的经济效益及检漏系统的性质来决定。 电子半导体中几种常用的检漏方法 在半导体电子制造中,根据不同产品对密封的要求,多采用喷吹法、吸入法和加压法等检漏方法。 1....
1、常用的检漏方法 常用的检漏方法有: 氦质谱检漏、氨渗漏、气泡法、煤油渗漏、盛水试漏。对于不同结构、不同使用条件及不同漏率要求的设备, 要根据实际情况综合考虑试验成本, 选用适当的检漏方法。 在传统的检漏方法中, 氨渗漏、气泡法、油渗漏、盛水试漏试验方法简单、试验成本低, 但灵敏度也较低, 主要适用于检验较大漏率的泄漏。氦质谱检漏灵敏度高, 可靠性好, 适用于检测较小漏率要求的泄漏。...
专门设计的以氦气作示踪气体进行检漏的质谱仪称为氦质谱检漏仪。这种仪器除灵敏度高外,还具有适应范围广、定位定量准确、无毒、安全、反应速度快等优点。氦质谱检漏仪中用得最多的是90°和180°的磁偏转型质谱仪。众所周知,当一个带电质点(正离子)以速度v进入均匀磁场的分析器中,如果速度v的方向和磁场H的方向相垂直,则它的运动轨迹为圆,如图1所示。...
专门设计的以氦气作示踪气体进行检漏的质谱仪称为氦质谱检漏仪。这种仪器除灵敏度高外,还具有适应范围广、定位定量准确、无毒、安全、反应速度快等优点。氦质谱检漏仪中用得最多的是90°和180°的磁偏转型质谱仪。众所周知,当一个带电质点(正离子)以速度v进入均匀磁场的分析器中,如果速度v的方向和磁场H的方向相垂直,则它的运动轨迹为圆,如图1所示。...
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