ANSI/ASME B89.1.8-2011
位移测量激光干涉仪的性能评估

Performance Evaluation of Displacement-Measuring Laser Interferometers


 

 

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标准号
ANSI/ASME B89.1.8-2011
发布
2011年
发布单位
美国国家标准学会
当前最新
ANSI/ASME B89.1.8-2011
 
 
适用范围
本标准规定了激光干涉仪的规格、评估、设置和使用的要求和方法。该标准将明确讨论仅单通道光学器件和单轴线性位移测量。该标准目前仅限于电离气体激光干涉仪系统。此版本的激光标准仅考虑单色激光。单色将包括零差系统和外差系统（参见附录 E），其中工作频率全部位于与一个特定原子跃迁或塞曼多重态相关的多普勒展宽频带内。二极管激光系统、线性调频脉冲系统和双色干涉仪可能包含在该标准的未来版本中。应该注意的是，该标准的折叠公共路径比较技术可用于将上述任何系统与标准氦氖激光干涉仪进行比较。

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