ASME B89.1.8-2011
位移测量激光干涉仪性能评估
Performance Evaluation of Displacement-Measuring Laser Interferometers
2011-01
- 标准号
- ASME B89.1.8-2011
- 发布
- 2011年
- 发布单位
- 美国机械工程师协会
- 替代标准
- ASME B89.1.8-2011(R2021)
- 当前最新
- ASME B89.1.8-2011(R2021)
- 适用范围
- 本标准规定了激光干涉仪的规格、评估、设置和使用的要求和方法。本标准将明确讨论仅单通光学器件和单轴线性位移测量。
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