ANSI/ASME B89.1.8-2011
位移测量激光干涉仪的性能评估

Performance Evaluation of Displacement-Measuring Laser Interferometers


ANSI/ASME B89.1.8-2011 中,可能用到以下仪器

 

激光相位多普勒干涉仪LDV,PDI,PDPA,PDA

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北京欧兰科技发展有限公司

 

WIVS-Ⅲ型白光干涉三维轮廓测量仪

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高分辨率激光干涉仪

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皮米精度位移激光干涉器

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皮米精度激光干涉仪

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QUANTUM量子科学仪器贸易(北京)有限公司

 

激光干涉仪皮米精度激光干涉仪 IDS 3010 应用于电子/半导体

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皮米精度激光干涉仪Attocube Systems IDS 3010 应用于机械设备

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Attocube Systems皮米精度激光干涉仪激光干涉仪 适用于组建

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QUANTUM量子科学仪器贸易(北京)有限公司

 

激光干涉仪 IDS 3010皮米精度激光干涉仪 应用于机械设备

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 IDS 3010激光干涉仪Attocube Systems 应用于电子/半导体

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激光干涉仪 IDS 3010Attocube Systems 可检测位移台

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Attocube Systems皮米精度激光干涉仪激光干涉仪 可检测X射线显微镜

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激光干涉仪 IDS 3010皮米精度激光干涉仪 应用于机械设备

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皮米精度激光干涉仪Attocube Systems激光干涉仪 应用于电子/半导体

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 IDS 3010激光干涉仪Attocube Systems 应用于电子/半导体

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激光干涉仪Attocube Systems皮米精度激光干涉仪 应用于航空/航天

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皮米精度激光干涉仪Attocube Systems IDS 3010 可检测轴承

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 IDS 3010激光干涉仪Attocube Systems 可检测扫描台

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动态干涉仪Kaleo-Multiwave

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硅晶圆检测仪SIT-200

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Attocube Systems激光干涉仪 IDS 3010 应用于机械设备

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SI-F 微型传感头型分光干涉式激光位移计

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皮米精度位移激光干涉仪

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标准号
ANSI/ASME B89.1.8-2011
发布
2011年
发布单位
美国国家标准学会
当前最新
ANSI/ASME B89.1.8-2011
 
 
本标准规定了激光干涉仪的规格、评估、设置和使用的要求和方法。该标准将明确讨论仅单通道光学器件和单轴线性位移测量。该标准目前仅限于电离气体激光干涉仪系统。此版本的激光标准仅考虑单色激光。单色将包括零差系统和外差系统(参见附录 E),其中工作频率全部位于与一个特定原子跃迁或塞曼多重态相关的多普勒展宽频带内。二极管激光系统、线性调频脉冲系统和双色干涉仪可能包含在该...

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在SJ6000激光干涉仪动态测量软件配合下,可实现线性位移、角度和直线度动态测量性能检测,以及进行位移、速度、加速度、振幅与频率动态分析,如振动分析、丝杆导轨动态特性分析、驱动系统响应特性分析等。激光干涉仪是用以测量含有运动导轨如机床、三坐标、直线电机、自动化设备机器人等运动精度,并可以对其运动导轨精度误差进行补偿。...

激光干涉仪应用特点

(4)双轴定位精度检测及其自动补偿 雷尼绍双激光干涉仪系统可同步测量大型龙门移动式数控机床,由双伺服驱动某一轴向运动定位精度,而且还能通过RS232接口,自动对两轴线性误差分别进行补偿。(5)数控机床动态性能检测 利用RENISHAW动态特性测量评估软件,可用激光干涉仪进行机床振动测试与分析(FFT),滚珠丝杠动态特性分析,伺服驱动系统响应特性分析,导轨动态特性(低速爬行)分析等。...


ANSI/ASME B89.1.8-2011 中可能用到的仪器设备





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