JB/T 4081-2011
真空技术 溅射离子泵
Vacuum technology - Sputter ion pump
JB/T 4081-2011 中，可能用到以下仪器
- 标准号
- JB/T 4081-2011
- 发布日期
- 2011年12月20日
- 实施日期
- 2012年04月01日
- 废止日期
- 无
- 中国标准分类号
- J78
- 国际标准分类号
- 23.160
- 发布单位
- CN-JB
- 引用标准
- GB/T 191-2008 GB/T 825-1988 GB/T 2829-2002 GB 4793.1-2007 GB 5226.1-2008 GB/T 6071-2003 GB/T 13384-2008 GB 22360-2008 JB/T 7673
- 被代替标准
- JB/T 4081-1991 JB/T 4082-1991
- 适用范围
- 本标准规定了普通型式的溅射离子泵(以下简称离子泵)的型式与基本参数、要求、测量方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存及质量保证要求。本标准适用于普通型式的溅射离子泵。