ISO 14644-9:2012
净化室和相关控制环境.第9部分:利用颗粒物浓度对表面洁净度的分类

Cleanrooms and associated controlled environments - Part 9: Classification of surface cleanliness by particle concentration

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标准号

ISO 14644-9:2012

发布

2012年

发布单位

国际标准化组织

替代标准

ISO 14644-9:2022

当前最新

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