GB/T 29557-2013
表面化学分析 深度剖析 溅射深度测量
Surface chemical analysis.Depth Profiling.Measurment of sputtered depth
GBT29557-2013, GB29557-2013
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- 标准号
- GB/T 29557-2013
- 别名
- GBT29557-2013
GB29557-2013 - 发布
- 2013年
- 采用标准
- ISO/TR 15969:2001 IDT
- 发布单位
- 国家质检总局
- 当前最新
- GB/T 29557-2013
- 适用范围
- 本标准规定了溅射深度剖析中测量溅射深度的准则。本标准适用于结合离子轰击剥离部分固体样品的表面化学分析技术,通常溅射深度可达几微米。
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