本标准规定了电子薄膜制备用高纯铝及铝合金靶材的要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、存贮、订货单(或合同)等内容。本标准适用于电子薄膜用各类高纯铝及铝合金溅射靶材(以下简称铝靶)。
GB/T 29658-2013由国家质检总局 CN-GB 发布于 2013-09-06,并于 2014-05-01 实施。
GB/T 29658-2013 在中国标准分类中归属于: H61 轻金属及其合金,在国际标准分类中归属于: 77.120.10 铝和铝合金。
* 在 GB/T 29658-2013 发布之后有更新,请注意新发布标准的变化。
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