GB/T 29658-2013
电子薄膜用高纯铝及铝合金溅射靶材
High-purity sputtering aluminium and aluminium alloy target used in electronic film
GBT29658-2013, GB29658-2013
- 标准号
- GB/T 29658-2013
- 别名
- GBT29658-2013, GB29658-2013
- 发布
- 2013年
- 发布单位
- 国家质检总局
- 当前最新
- GB/T 29658-2013
- 引用标准
- GB/T 14265 GB/T 15823 GB/T 1804 GB/T 20975.25 GB/T 6394 GJB 1580A JB/T 4734 YS/T 837 YS/T 871
- 适用范围
- 本标准规定了电子薄膜制备用高纯铝及铝合金靶材的要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、存贮、订货单(或合同)等内容。本标准适用于电子薄膜用各类高纯铝及铝合金溅射靶材(以下简称铝靶)。
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