GB/T 29852-2013
光伏电池用硅材料中P、As、Sb施主杂质含量的二次离子质谱测量方法

Test method for measuring phosphorus, arsenic and antimony in silicon materials used for photovoltaic applications by secondary ion mass spectrometry

标准号

GB/T 29852-2013

发布日期

2013年11月12日

实施日期

2014年04月15日

废止日期

无

中国标准分类号

H82

国际标准分类号

29.045

发布单位

CN-GB

适用范围

本标准规定了用二次离子质谱仪(SIMS)测定光伏电池用硅材料中磷、砷和锑含量的方法。本标准适用于光伏电池用硅材料中施主杂质磷、砷和锑含量的定量分析,其中磷、砷和锑的浓度均大于 1×10¹⁴atoms/cm³。

GB/T 29852-2013系列标准

GB/T 29852-2013 中可能用到的仪器设备