GB/T 30866-2014
碳化硅单晶片直径测试方法
Test method for measuring diameter of monocrystalline silicon carbide wafers
GBT30866-2014, GB30866-2014
- 标准号
- GB/T 30866-2014
- 别名
- GBT30866-2014, GB30866-2014
- 发布
- 2014年
- 发布单位
- 国家质检总局
- 当前最新
- GB/T 30866-2014
- 适用范围
- 本标准规定了用千分尺测量碳化硅单晶片直径的方法。 本标准适用于碳化硅单晶片直径的测量。 2 方法提要
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